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大尺寸电子级硅单晶炉关键技术及其应用

项目方向:装备制造

项目阶段:

所在地区:陕西

发布时间:2018-03-22

项目进度

审核通过 方案制定 开始对接 对接中 对接成功

详细信息

一、项目简介 

      本项目研制了我国首台极大规模集成电路用300mm硅单晶炉并形成系列产品,打破了国外产品的垄断和技术封锁,整体性能达到国际先进水平,在非对称CUSP磁场设计与装置、激光液位检测方法与装置等方画处于国际领先水平。

项目获授权发明专利13件,美国发明专利2项,制定了我国首部单晶炉技术标准。核心技术和系列产品已在相关行业推广使用并出口美国、韩国等企业,新增产值24.64亿兀,新增利润4.65亿兀,取得了显著的社会、经济效益。

2012年,获得国家技术发明二等奖。


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