一、项目简介 

      本项目研制了我国首台极大规模集成电路用300mm硅单晶炉并形成系列产品，打破了国外产品的垄断和技术封锁，整体性能达到国际先进水平，在非对称CUSP磁场设计与装置、激光液位检测方法与装置等方画处于国际领先水平。

项目获授权发明专利13件，美国发明专利2项，制定了我国首部单晶炉技术标准。核心技术和系列产品已在相关行业推广使用并出口美国、韩国等企业，新增产值24.64亿兀，新增利润4.65亿兀，取得了显著的社会、经济效益。

2012年，获得国家技术发明二等奖。